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MLCC성형기, 각종 필름 건조, 경화 |
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필림폭 150 ~ 500m/m |
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4,000 ~ 9,000m/m |
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250℃ |
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본 장비는 반도체 제작 과정에서 필름을 이용하여 코팅 및 성형 인쇄하여 건조시키는 장비입니다.
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방폭형 구조로 되어 있어 톨루겐, 신나, 솔벤트등 화제의 위험이 있는 제품을 건조할 때 안전합니다.
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방진형 HEPA FILTER와 MEDIUH FILTER를 장착하여 공기중에 미세한 먼지 99.97% 이상 제거합니다.
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온도구분 - 3개 ZONE으로 구성되어 있으며 각 ZONE마다 상하 AIR NOZZEL로 온도를 조절할 수 있고 특히 개개의 NOZZEL마다 풍량을 가변 할 수 있습니다. |
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주요기능 - 개스 감지기, 배기량 측정계, 노즐풍압계, S.C.R을 이용한 전력조절 P.I.D 제어
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