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용  도

MLCC성형기, 각종 필름 건조, 경화

규  격

필림폭 150 ~ 500m/m

길  이

4,000 ~ 9,000m/m

TEMP

250℃
 
 
본 장비는 반도체 제작 과정에서 필름을 이용하여 코팅 및 성형 인쇄하여 건조시키는 장비입니다.
 
 

방폭형 구조로 되어 있어 톨루겐, 신나, 솔벤트등 화제의 위험이 있는 제품을 건조할 때 안전합니다.

방진형 HEPA FILTER와 MEDIUH FILTER를 장착하여 공기중에 미세한 먼지 99.97% 이상 제거합니다.

온도구분 - 3개 ZONE으로 구성되어 있으며 각 ZONE마다 상하 AIR NOZZEL로 온도를 조절할 수 있고 특히 개개의 NOZZEL마다 풍량을 가변 할 수 있습니다.

주요기능 - 개스 감지기, 배기량 측정계, 노즐풍압계, S.C.R을 이용한 전력조절 P.I.D 제어